一、实验室概况
光电材料重点实验室建于2025年，使用面积约179平方米，是专注于光伏材料制备、薄膜沉积与性能表征的专业实验场地。实验室配备多靶磁控溅射系统、真空镀膜设备及配套分析仪器，支持高质量光电薄膜的制备与科研创新，服务于新能源材料与器件相关学科的教学实验、科研项目及学生创新创业活动。
二、主要仪器设备
1. MS-200多功能磁控溅射系统（带RF/DC电源）
2. 分子泵真空抽气系统
3. 气路控制系统（高纯Ar、N₂）
4. 水冷循环系统与风冷冷水机
5. 基片加热台（RT～800℃温控）
6. 真空测量系统（全量程规、薄膜规）
7. 样品旋转与传动装置
三、面向专业及课程
面向专业：新能源科学与工程
课程名称：《光伏电池材料学基础》、《光伏材料与器件》、《半导体材料》、《光伏电池及组件制造工艺》、《半导体物理》、《材料分析测试方法》等。
四、可开展主要实验项目
序号 | 实验项目名称 | 序号 | 实验项目名称 |
1 | 磁控溅射法制备氮化硅/氧化锌薄膜 | 6 | 多层膜结构设计与沉积工艺优化 |
2 | 薄膜厚度与沉积速率测量 | 7 | 光伏薄膜的电学性能测试 |
3 | 射频与直流溅射模式对比实验 | 8 | 透明导电薄膜（TCO）的制备与表征 |
4 | 真空系统的操作与检漏方法 | 9 | 薄膜附着力与耐磨性测试 |
5 | 基片温度对薄膜结晶行为的影响 |
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五、安全操作规程
1、所有人员进入实验室前须接受设备操作与安全培训，严禁未授权操作。实验时需穿着实验服、长裤和闭口鞋，操作溅射工艺及化学品时必须佩戴防护手套，必要时佩戴护目镜。
2、操作设备前应认真预习设备使用方法与注意事项，确认水路、气路、电路连接可靠，真空腔体密封完好，分子泵前级真空须低于0.5mbar才可启动。
3、每组实验开始前须检查设备接口、阀门状态及断路器位置，确认无误后方可进行实验。
4、发生设备漏气、电源打火、异常放电或真空陡降等情况时，须立即按下急停按钮、切断电源，并报告指导教师。
5、实验过程中须严格按指导教师要求和设备规程操作，严禁擅自更改参数，自行设计实验须经教师审核同意。
6、操作设备开关、按钮时应动作规范，严禁野蛮操作。设备出现异常声音、报警、冒烟等情况时，立即停机并报告。
7、实验结束后应按顺序关闭电源、气体和水路，恢复腔体常压，如实填写设备使用记录，做好清洁，经教师同意后方可离开。
8、进行开放实验须提前申请，获批后由指导教师或管理员明确危险源和注意事项，实验结束并经检查同意后方可离开。
六、实验室主要危险源
高频/高压电源（RF/DC电源）；高真空系统与真空突发失效风险；高温样品台（最高800℃）；高压气瓶（Ar、N₂）；冷却水系统与用电设备
